低壓真空滲碳爐可以形成無氧化物和無污染物的表面，而且把滲碳和氣淬結(jié)合起來，改善零件變形行為，提高滲碳溫度，減少間歇式處理的時間，大大降低了氣體和能量消耗，同時防止了炭黑的產(chǎn)生。低壓真空滲碳爐可以大幅度降低生產(chǎn)成本和大幅度提高設(shè)備利用率，且壓力非常低，因此使用氣氛的成本顯著降低。另外，由于低壓滲碳設(shè)備和工藝的特點，可進(jìn)行高溫滲碳，所以適當(dāng)提高滲碳溫度，可大大縮短滲碳時間。

低壓真空滲碳爐的控制系統(tǒng)能對滲碳工藝進(jìn)行控制，因此所處理工件有良好重復(fù)性，且工件變形小，表面光亮，無需滲碳后再進(jìn)行機械加工。有更大的靈活性，其設(shè)備可以作為獨立設(shè)備，也可以與冷加工連成一條生產(chǎn)線。設(shè)備本身既可以是周期式的，適合小批量，多品種的生產(chǎn)情況。